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高溫探針臺

簡要描述：高溫探針臺可用于8英寸以內(nèi)樣品測試；

可滿足500度高溫測試；

溫度穩(wěn)定性高；兼容IV/CV/RF測試

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| 高溫測試測量探針臺系統(tǒng)

高溫探針臺：

特點(diǎn)/應(yīng)用

高溫探針臺可用于

◆ 4/6/8/12英寸均可升級高溫探針臺

◆ 500度高溫測試

◆ IV/CV/RF測試

◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制

臺體規(guī)格：

型號	CS-4-HT/CS-6-HT/CH-8-HT/CH-12-HT
樣品臺尺寸	4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
水平旋轉(zhuǎn)	可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程	4英寸4英寸/6英寸6英寸/8英寸*8英寸
X-Y移動精度	10微米/1微米
樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺	U型針座平臺，最多可放置8個探針座
背電極測試	樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍	室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度	1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性	±1度/±0.1度
外形尺寸	400mm長400mm寬600mm高/580mm長480mm寬600mm高/840mm長600mm寬700mm高
重量	約30千克/60千克/100千克

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器：

可選附件

水冷裝置

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具

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